Projection electron beam apparatus and defect inspection system using the apparatus

WO2006093268 Art A1 8. September 2006

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006093268
Aktenzeichen: EP06715171
Anmeldetag: 3. März 2006
Veröffentlichung: 8. September 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/29G01N23/225G01R31/302H01J37/12H01J37/153H01J37/28H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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