Verfahren zum Herstellen einer Nanostruktur auf einem Substrat

WO2006094574 Art A1 14. September 2006

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Hahn-Meitner-Institut Berlin GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006094574
Aktenzeichen: EP06706246
Anmeldetag: 16. Januar 2006
Veröffentlichung: 14. September 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Hahn-Meitner-Institut Berlin GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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