Light source unit for alignment, alignment apparatus, exposure apparatus, digital exposure apparatus, alignment method, exposure method and method for setting lighting apparatus condition

WO2006095605 Art A1 14. September 2006

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006095605
Aktenzeichen: EP06714921
Anmeldetag: 28. Februar 2006
Veröffentlichung: 14. September 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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