Method of forming connection pin, probe, connection pin, probe card, and method of producing probe card

WO2006095759 Art A1 14. September 2006

Anmelder: Tokyo Electron Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006095759
Aktenzeichen: EP06728760
Anmeldetag: 8. März 2006
Veröffentlichung: 14. September 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G01R1/073H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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