Methods and apparatus for enabling multiple process steps on a single substrate

WO2006096818 Art A1 14. September 2006

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006096818
Aktenzeichen: EP06737667
Anmeldetag: 9. März 2006
Veröffentlichung: 14. September 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68H01J37/20H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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