Vacuum Pumping Arrangement

WO2006097679 Art A1 21. September 2006

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006097679
Aktenzeichen: EP06709948
Anmeldetag: 1. März 2006
Veröffentlichung: 21. September 2006
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44G01M3/20F04D17/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Edwards Limited
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

524 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von