Treatment device, treatment device consumable parts management method, treatment system, and treatment system consumable parts management method

WO2006098081 Art A1 21. September 2006

Anmelder: Tokyo Electron Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006098081
Aktenzeichen: EP06711950
Anmeldetag: 19. Januar 2006
Veröffentlichung: 21. September 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065H01J37/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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