Film forming apparatus and film forming method

WO2006098237 Art A1 21. September 2006

Anmelder: The Doshisha, HORIBA, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006098237
Aktenzeichen: EP06728894
Anmeldetag: 10. März 2006
Veröffentlichung: 21. September 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: The Doshisha
HORIBA, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Horiba

Horiba ist ein japanischer Hersteller wissenschaftlicher und analytischer Messinstrumente. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Softwarethemen. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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