Internal electrostatic transduction structures for bulk-mode micromechanical resonators

WO2006098743 Art A2 21. September 2006

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006098743
Aktenzeichen: EP05857442
Anmeldetag: 3. Juni 2005
Veröffentlichung: 21. September 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H03H9/24H03H9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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