Method and apparatus for evacuating a chamber prior to its filling with a noble gas

WO2006100428 Art A1 28. September 2006

Anmelder: The BOC Group plc 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006100428
Aktenzeichen: EP06710025
Anmeldetag: 7. März 2006
Veröffentlichung: 28. September 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01J9/38H01J9/39H01J61/76

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The BOC Group plc
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 The BOC Group

The BOC Group war ein britischer Industriegasehersteller und ist heute Teil des Linde-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Energie- und Wärmetechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2012.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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