Process for producing thin nitride film on sapphire substrate and thin nitride film producing apparatus

WO2006100956 Art A1 28. September 2006

Anmelder: Japan Science and Technology Agency, National University Corporation Shizuoka University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006100956
Aktenzeichen: EP06729007
Anmeldetag: 14. März 2006
Veröffentlichung: 28. September 2006
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/34

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firmen: Japan Science and Technology Agency
National University Corporation Shizuoka University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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