Process for producing thin nitride film on sapphire substrate and thin nitride film producing apparatus

WO2006100956 Art A1 28. September 2006

Anmelder: Japan Science and Technology Agency, National University Corporation Shizuoka University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006100956
Aktenzeichen: EP06729007
Anmeldetag: 14. März 2006
Veröffentlichung: 28. September 2006
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/34

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firmen: Japan Science and Technology Agency
National University Corporation Shizuoka University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

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🇯🇵 National University Corporation Shizuoka University

Die National University Corporation Shizuoka University ist eine staatliche japanische Universität mit Sitz in der Präfektur Shizuoka, bekannt für Forschung an bildgebenden Halbleitersensoren. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Nachrichtentechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2024 ab.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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