Method of film formation, film formation apparatus, permanent magnet, and process for producing permanent magnet

WO2006100968 Art A1 28. September 2006

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006100968
Aktenzeichen: EP06729068
Anmeldetag: 14. März 2006
Veröffentlichung: 28. September 2006
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/54C23C14/22H01F1/053H01F10/12H01F41/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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