Production method for vacuum component, resin coating forming device and vacuum film forming system

WO2006101171 Art A1 28. September 2006

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006101171
Aktenzeichen: EP06745386
Anmeldetag: 23. März 2006
Veröffentlichung: 28. September 2006
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/12C08G73/10C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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