Projection optical device

WO2006101192 Art A1 28. September 2006

Anmelder: TOHOKU UNIVERSITY 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006101192
Aktenzeichen: EP06729879
Anmeldetag: 24. März 2006
Veröffentlichung: 28. September 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G02B17/00G02B27/18H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOHOKU UNIVERSITY
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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