Method for patterning ferrelectric/piezoelectric films

WO2006101458 Art A1 28. September 2006

Anmelder: The National University of Singapore, Nanyang Technological University 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006101458
Aktenzeichen: EP06717192
Anmeldetag: 22. März 2006
Veröffentlichung: 28. September 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00H01L21/02H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: The National University of Singapore
Nanyang Technological University
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 National University of Singapore

Staatliche Universität in Singapur, eine der größten und international bestbewerteten Hochschulen Asiens. Sie ist in Forschung und Lehre breit aufgestellt, mit starken Ingenieur- und Naturwissenschaftsfakultäten.

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🇸🇬 Nanyang Technological University

Die Nanyang Technological University ist eine staatliche Forschungsuniversität in Singapur, die in den Bereichen Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologie international hoch angesehen ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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