Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten von Substraten

WO2006102913 Art A1 5. Oktober 2006

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006102913
Aktenzeichen: EP05731879
Anmeldetag: 31. März 2005
Veröffentlichung: 5. Oktober 2006
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/56B05D7/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials GmbH & Co. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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