Copper etchant and method of etching

WO2006103751 Art A1 5. Oktober 2006

Anmelder: Mitsubishi Chemical Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2006103751
Aktenzeichen
EP05727666
Anmeldetag
29. März 2005
Veröffentlichung
5. Oktober 2006
Rechtsraum
WO
IPC
C23F1/18C09K13/06H01L21/308
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mitsubishi Chemical Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Das Unternehmen entwickelt Grund- und Spezialchemikalien, Kunststoffe, Materialien für Elektronik und Energiespeicher sowie Pharma- und Life-Science-Produkte.

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