Substrate processing apparatus and substrate processing system
WO2006104018
Art A1
5. Oktober 2006
Anmelder: Hitachi Kokusai Electric Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006104018
- Aktenzeichen
- EP06729827
- Anmeldetag
- 23. März 2006
- Veröffentlichung
- 5. Oktober 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi Kokusai Electric Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi
Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.
21.154 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.