Water purge agent, and method for resist pattern formation using the same

WO2006104100 Art A1 5. Oktober 2006

Anmelder: Asahi Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006104100
Aktenzeichen: EP06730117
Anmeldetag: 27. März 2006
Veröffentlichung: 5. Oktober 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/38H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Asahi Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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