A method of testing a plasma reactor

WO2006106144 Art A1 12. Oktober 2006

Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique, UNIVERSITE JOSEPH FOURIER 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006106144
Aktenzeichen: EP06743264
Anmeldetag: 7. April 2006
Veröffentlichung: 12. Oktober 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/33H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Centre National de la Recherche Scientifique
UNIVERSITE JOSEPH FOURIER
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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