Temperature control apparatus

WO2006106302 Art A1 12. Oktober 2006

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2006106302
Aktenzeichen
EP06726530
Anmeldetag
27. März 2006
Veröffentlichung
12. Oktober 2006
Rechtsraum
WO
IPC
F04B49/06F04D19/04F04B37/14H05K7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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