Filter membrane and method of manufacturing the same

WO2006106937 Art A1 12. Oktober 2006

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2006106937
Aktenzeichen
EP06730817
Anmeldetag
31. März 2006
Veröffentlichung
12. Oktober 2006
Rechtsraum
WO
IPC
B01D69/00B01D39/14B01D39/16B01D29/07B01D29/21B01D63/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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