Method of forming pattern

WO2006107056 Art A1 12. Oktober 2006

Anmelder: Zeon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2006107056
Aktenzeichen
EP06731106
Anmeldetag
29. März 2006
Veröffentlichung
12. Oktober 2006
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/022G03F7/16G03F7/38H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Zeon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Zeon

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Zeon Corporation entwickelt synthetische Kautschuke, Spezialchemikalien und Elastomere für Anwendungen in Automobil-, Elektronik- und Batterieindustrie.

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