Method of forming pattern
WO2006107056
Art A1
12. Oktober 2006
Anmelder: Zeon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006107056
- Aktenzeichen
- EP06731106
- Anmeldetag
- 29. März 2006
- Veröffentlichung
- 12. Oktober 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/022G03F7/16G03F7/38H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Zeon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Zeon
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Zeon Corporation entwickelt synthetische Kautschuke, Spezialchemikalien und Elastomere für Anwendungen in Automobil-, Elektronik- und Batterieindustrie.
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