Method of making a substrate structure with enhanced surface area

WO2006107422 Art A2 12. Oktober 2006

Anmelder: Agilent Technologies, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2006107422
Aktenzeichen
EP06735286
Anmeldetag
17. Februar 2006
Veröffentlichung
12. Oktober 2006
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/4763
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Agilent Technologies, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Agilent Technologies

US-amerikanischer Hersteller von Analysegeräten, Labortechnik und Diagnostiklösungen, 1999 als Ausgründung von Hewlett Packard entstanden. Schwerpunkte sind Chromatographie, Massenspektrometrie und Life-Science-Instrumente.

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