Multiple-beam microstructure laser lithographic method and device employing laser beams of different wavelength

WO2006109355 Art A1 19. Oktober 2006

Anmelder: Japan Science and Technology Agency, D-Mec Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006109355
Aktenzeichen: EP05728551
Anmeldetag: 11. April 2005
Veröffentlichung: 19. Oktober 2006
Rechtsraum: WO
IPC: B29C67/00

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Anmelder

Firmen: Japan Science and Technology Agency
D-Mec Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik

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