Data generating method, data generating device, and program
WO2006109709
Art A1
19. Oktober 2006
Anmelder: TOHOKU UNIVERSITY, Kumamoto University 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006109709
- Aktenzeichen
- EP06731377
- Anmeldetag
- 7. April 2006
- Veröffentlichung
- 19. Oktober 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F1/08G03F7/20G06F17/50H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOHOKU UNIVERSITY
Kumamoto University - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tohoku University
Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.
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