Data generating method, data generating device, and program

WO2006109709 Art A1 19. Oktober 2006

Anmelder: TOHOKU UNIVERSITY, Kumamoto University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2006109709
Aktenzeichen
EP06731377
Anmeldetag
7. April 2006
Veröffentlichung
19. Oktober 2006
Rechtsraum
WO
IPC
G03F1/08G03F7/20G06F17/50H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
TOHOKU UNIVERSITY
Kumamoto University
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

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