Fabrication of a micro-electromechanical system (mems) device from a complementary metal oxide semiconductor (cmos)
WO2006110782
Art A1
19. Oktober 2006
Anmelder: University of Florida Research Foundation, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006110782
- Aktenzeichen
- EP06749818
- Anmeldetag
- 11. April 2006
- Veröffentlichung
- 19. Oktober 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L27/08H01L27/06B81B7/02B81B7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- University of Florida Research Foundation, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of Florida Research Foundation
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