Self-stabilizing cmp composition for metal layers

WO2006114416 Art A1 2. November 2006

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006114416
Aktenzeichen: EP06754846
Anmeldetag: 25. April 2006
Veröffentlichung: 2. November 2006
Rechtsraum: WO
IPC: C09G1/02H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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