Liquid for immersion exposure, method for purifying liquid for immersion exposure, and immersion exposure method

WO2006115268 Art A1 2. November 2006

Anmelder: Mitsui Chemicals, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006115268
Aktenzeichen: EP06745700
Anmeldetag: 26. April 2006
Veröffentlichung: 2. November 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20G03F7/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsui Chemicals, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsui Chemicals

Mitsui Chemicals ist ein japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, der Basis- und Spezialchemikalien, Kunststoffe sowie Materialien für Elektronik und Mobilität herstellt. Das Unternehmen ging 1997 aus der Fusion mehrerer Mitsui-Chemieunternehmen hervor.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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