Surface wave excitation plasma generator and surface wave excitation plasma processing system

WO2006118042 Art A1 9. November 2006

Anmelder: Shimadzu Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006118042
Aktenzeichen: EP06745510
Anmeldetag: 20. April 2006
Veröffentlichung: 9. November 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/46C23C16/511H01L21/205H01L21/302H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shimadzu Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shimadzu

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Kyoto. Shimadzu entwickelt Analyse- und Messgeräte, medizinische Bildgebungssysteme sowie Komponenten für Luft- und Raumfahrt, Industrie und Wissenschaft.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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