Substrate treating apparatus and electrode

WO2006118161 Art A1 9. November 2006

Anmelder: Hitachi Kokusai Electric Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006118161
Aktenzeichen: EP06732380
Anmeldetag: 26. April 2006
Veröffentlichung: 9. November 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065C23C16/509H01L21/205H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Kokusai Electric Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

21.154 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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