Method of forming graft pattern, graft pattern material obtained thereby, and lithographic process using the same
WO2006118305
Art A1
9. November 2006
Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006118305
- Aktenzeichen
- EP06746019
- Anmeldetag
- 2. Mai 2006
- Veröffentlichung
- 9. November 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/004B82B3/00C08F299/00G03F7/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FUJIFILM CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujifilm
Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.
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