Charged Particle Beam Equipment

WO2006121108 Art A1 16. November 2006

Anmelder: Riken 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006121108
Aktenzeichen: EP06746275
Anmeldetag: 11. Mai 2006
Veröffentlichung: 16. November 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20H01J37/295G01N23/04H01J37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Riken
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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