Method and system for line-dimension control of an etch process

WO2006121563 Art A2 16. November 2006

Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006121563
Aktenzeichen: EP06749816
Anmeldetag: 12. April 2006
Veröffentlichung: 16. November 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G01L21/30C23F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: International Business Machines Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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