Techniques and devices for characterizing spatially non-uniform curvatures and stresses in thin-film structures on substrates with non-local effects

WO2006122294 Art A2 16. November 2006

Anmelder: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006122294
Aktenzeichen: EP06759647
Anmeldetag: 10. Mai 2006
Veröffentlichung: 16. November 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G01L1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 California Institute of Technology

Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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