Charged particle beam apparatus, contamination removing method and sample observing method
WO2006123437
Art A1
23. November 2006
Anmelder: ADVANTEST CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006123437
- Aktenzeichen
- EP05743281
- Anmeldetag
- 26. Mai 2005
- Veröffentlichung
- 23. November 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/20H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADVANTEST CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Advantest
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.
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Fachgebiete
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