Electron beam exposure device

WO2006123447 Art A1 23. November 2006

Anmelder: Kyoto University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006123447
Aktenzeichen: EP05806799
Anmeldetag: 18. November 2005
Veröffentlichung: 23. November 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20H01J37/305H01J43/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kyoto University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyoto University

Renommierte japanische Universität mit breiter Grundlagenforschung in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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