Method and apparatus for removing organic coating on surface of substrate

WO2006123527 Art A1 23. November 2006

Anmelder: TOAGOSEI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006123527
Aktenzeichen: EP06732446
Anmeldetag: 27. April 2006
Veröffentlichung: 23. November 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304H01L21/027

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: TOAGOSEI CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 TOAGOSEI CO., LTD.

Toagosei ist ein japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, bekannt für Klebstoffe wie Aron Alpha. Die Patente betreffen Polymere, Klebstoffe und Spezialchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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