Method for manufacturing phase shift mask blank and method for manufacturing phase shift mask

WO2006123630 Art A1 23. November 2006

Anmelder: HOYA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006123630
Aktenzeichen: EP06746410
Anmeldetag: 16. Mai 2006
Veröffentlichung: 23. November 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/08C23C14/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HOYA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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