Gas Purifier Having Reinforced Vessel

WO2006129481 Art A1 7. Dezember 2006

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2006129481
Aktenzeichen
EP06746506
Anmeldetag
17. Mai 2006
Veröffentlichung
7. Dezember 2006
Rechtsraum
WO
IPC
B01D53/04C01B7/19
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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