Method of surface treatment

WO2006129489 Art A1 7. Dezember 2006

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2006129489
Aktenzeichen
EP06746603
Anmeldetag
18. Mai 2006
Veröffentlichung
7. Dezember 2006
Rechtsraum
WO
IPC
C23G1/19C25F3/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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