Resist material, and resist material for electron beam recording

WO2006129565 Art A1 7. Dezember 2006

Anmelder: Pioneer Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006129565
Aktenzeichen: EP06746881
Anmeldetag: 26. Mai 2006
Veröffentlichung: 7. Dezember 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004G03F7/11H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Pioneer Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Pioneer

Japanisches Elektronikunternehmen mit Sitz in Tokio. Pioneer ist bekannt für Unterhaltungselektronik, Car-Audio- und Navigationssysteme sowie Displaytechnologien und Audio- und Videotechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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