Exposure apparatus and exposure method

WO2006129653 Art A1 7. Dezember 2006

Anmelder: FUJIFILM Corporation, Fujinon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006129653
Aktenzeichen: EP06746990
Anmeldetag: 30. Mai 2006
Veröffentlichung: 7. Dezember 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: FUJIFILM Corporation
Fujinon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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