Surface treating agent for pattern formation

WO2006129800 Art A1 7. Dezember 2006

Anmelder: DAIKIN INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006129800
Aktenzeichen: EP06756932
Anmeldetag: 2. Juni 2006
Veröffentlichung: 7. Dezember 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004G03F7/027G03F7/033G03F7/038G03F7/039G03F7/075G02B5/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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