Radiation-sensitive resin composition, layered product, and process for producing the same

WO2006129875 Art A1 7. Dezember 2006

Anmelder: Zeon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006129875
Aktenzeichen: EP06747215
Anmeldetag: 31. Mai 2006
Veröffentlichung: 7. Dezember 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/075G03F7/004G03F7/023G03F7/40H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Zeon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Zeon

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Zeon Corporation entwickelt synthetische Kautschuke, Spezialchemikalien und Elastomere für Anwendungen in Automobil-, Elektronik- und Batterieindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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