Method and device for nano-imprinting

WO2006132119 Art A1 14. Dezember 2006

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006132119
Aktenzeichen: EP06747046
Anmeldetag: 31. Mai 2006
Veröffentlichung: 14. Dezember 2006
Rechtsraum: WO
IPC: B29C59/02H01L21/027B81C1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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