Valve element, valve, selector valve, and trap device

WO2006132318 Art A1 14. Dezember 2006

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006132318
Aktenzeichen: EP06766491
Anmeldetag: 8. Juni 2006
Veröffentlichung: 14. Dezember 2006
Rechtsraum: WO
IPC: F16K11/044B01D8/00B01J3/00B01J3/02F16K1/36F16K37/00F16K49/00H01L21/205H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von