Light-modulating nano/micro scale aperture array device having immersion layer and high speed nano scale pattern recording system using the same
WO2006132453
Art A1
14. Dezember 2006
Anmelder: Industry-Academic Cooperation Foundation, Yonsei University 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2006132453
- Aktenzeichen
- EP05780668
- Anmeldetag
- 22. Juli 2005
- Veröffentlichung
- 14. Dezember 2006
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Industry-Academic Cooperation Foundation, Yonsei University
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Industry-Academic Cooperation Foundation, Yonsei University
Technologietransfer- und Patentverwertungsstelle der Yonsei University in Südkorea, verwaltet Erfindungen aus der universitären Forschung.
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