Method and system for photolithography

WO2006133729 Art A1 21. Dezember 2006

Anmelder: Qimonda AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2006133729
Aktenzeichen
EP05754703
Anmeldetag
17. Juni 2005
Veröffentlichung
21. Dezember 2006
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20G02B5/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Qimonda AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Qimonda

Qimonda war ein deutscher Halbleiterhersteller mit Sitz in München, der 2006 aus dem Speicherchip-Geschäft von Infineon hervorging und 2009 insolvent wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Datenspeicherung, insbesondere DRAM- und resistive Speichertechnologien. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus der kurzen Unternehmensgeschichte zwischen 2000 und 2008.

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