Thin film measuring apparatus, thin film measuring method and thin film manufacturing method

WO2006134662 Art A1 21. Dezember 2006

Anmelder: TOPCON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006134662
Aktenzeichen: EP05750961
Anmeldetag: 17. Juni 2005
Veröffentlichung: 21. Dezember 2006
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01B7/02G01B15/02G01N23/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOPCON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Topcon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Topcon entwickelt Präzisionsmessgeräte, GPS- und Vermessungstechnik sowie optische Instrumente für Bauwesen, Landwirtschaft und Augenheilkunde.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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